Магнетронное распыление – один из самых популярных методов производства тонкопленочных изделий из металлов и их соединений, рассказали ученые. Он позволяет получать покрытия толщиной от 10 нанометров до единиц микронов за счет бомбардировки металлической мишени ионами плазмы, передает РИА «Новости».
При создании оксидов и ряда других соединений по этой технологии, по словам ученых, часто возникает проблема: атомы неметаллов создают на поверхности металлической мишени слой оксида или нитрида, снижающий эффективность процесса обработки.
Команда специалистов Томского политехнического университета разработала новый подход к технологии магнетронного распыления, по их словам, позволяющий увеличить качество получаемых покрытий, а также упростить и ускорить процесс обработки.
Как сообщил доцент Научно-образовательного центра Б. П. Вейнберга Инженерной школы ядерных технологий ТПУ Дмитрий Сиделев, ученые решили проблему формирования нежелательной кислородной пленки на поверхности металлический мишени путем добавления этапа обработки изделия высокочастотной индуктивно-связанной плазмой. Они показали возможность высокоскоростного получения пленок оксида меди с требуемым элементным составом.
По словам авторов, технология найдет широкое применение в современной оптике, электронике, медицине, в космической и ядерной отрасли, а также в ряде других областей. Скорость получения изделий по новому методу превосходит существующие аналоги в два-пять раз, подчеркнули специалисты.
Оксид меди, как объяснили ученые, послужил для исследования модельным материалом, но сама предложенная технология подходит также для работы с другими соединениями металлов.
Ранее специалисты Томского политехнического университета (ТПУ) разработали недорогое дизельное топливо, устойчивое к замерзанию даже при -70°С.